历经数年发展，华海清科已悄然崛起成为国家专精特新「小巨人」，生产研发出国内唯一在 12 寸集成电路生产线可批量替代国外产品的设备，市占率、进口替代率均居国产 IC 装备前列 … 华海清科的创业故事还要从三位清华大学教授说起，路新春、雒建斌和朱煜 … 华海清科还有一名灵魂人物 —— 雒建斌，他是摩擦学专家，中国科学院院士，同时也是清华大学精密仪器与机械学系长江学者特聘教授、博士生导师。