2022 年 6 月 16 日
台积电业务开发资深副总经理张晓强称，台积电 2024 年还不准备运用新的高数值孔径 EUV 工具生产，将主要用于与合作伙伴的研究 … 英特尔曾表示，2025 年将开始以高数值孔径 EUV 进行生产，还说将率先收到这种机器。
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