截至 2025 年 3 月 4 日 14:52:48，光刻机概念股出现震荡拉升，海立股份实现 2 连板，珂玛科技、国林科技、赛微电子涨幅超过 5%，炬光科技、中瓷电子、蓝英装备、波长光电、苏大维格等股票也跟随上涨。